真空腔体常用的清洗方法
1、放电清洗
放电清洗一般用于高真空、超高真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.
2、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短,容易被抽走的特性,用氮气冲洗被污染的真空系统,同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间,缩短真空系统的抽气时间.
维修应注意哪些环节?
检验是个细致活,每个细节都不要落掉,更不能存在侥幸心理。有一台设备,用户存放4年了,做完了常规的清理工作按部就班地连接好管路开始抽真空,怎么也达不到出厂标准,什么都查了,就是一根供气的真空胶管没查,当时就认为真空胶管不会漏。结果恰恰相反,问题就出在这根真空胶管上。
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主机与附件有什么关系?
有一台离子渗氮炉,工作一段时间后出了问题,设备没动,操作工艺没变,就是工件不能进行离子渗氮。用户和厂家查不出问题的所在,感到困惑。经过试验和查找,确定是配套的供气管路出了问题。用户用的是氧气管,用户认为氧气管耐正压没问题,耐负压也一定没问题;其实不然。换管后问题解决了。我们建议国内生产企业在生产主机的同时为用户提供相应的配套装置。有时配套装置出的问题会影响主机。